项目名称： 晶圆IV探针参数测试系统

项目编号：西交材招（2022）23

项目联系人：张老师

项目联系电话：029-82667917

采购单位联系方式：

采购单位： yh86银河国际官方网站

采购联系人： 何培培 邮箱：heppcl@mail.xjtu.edu.cn

联系地址： 西安市咸宁西路28号yh86银河国际官方网站仲英楼A223室

一、采购项目的名称、数量、简要规格描述或项目基本概况介绍：

设备名称：晶圆IV探针参数测试系统

数量：1套

技术参数：

（一）技术指标要求：

★1.直径至少4”真空卡盘采用中心真空吸附孔和多圈真空吸附环固定样品，每个真空通道均独立控制，卡盘中心孔直径不大于1mm，兼容直径2”真空卡盘，可升级为高低温探针台。

★2.配套无油静音真空泵，至少可达7 升/分钟，真空度:-33.3kPa（ -250mmHg），噪音不高于35db；

★3.卡盘采用同轴位移台，XY同轴载物台低重心仅25mm厚 ，快速移动不小于25mm /转，方便快速找到目标物，XY方向行程不小于100×100mm，每轴都有一个锁定旋钮，XY方向微调分辨率不大于1μm；

★4.配备≥4″温控吸盘，包含卡盘冷却区，滑台温度缓冲区，调温器，水箱等配套设备，温度范围至少可以保证RT~300C，温度精度≤+/- 0.5°C。

5.承片台平面度不大于10μm；漏电流＜1PA＠100V， Chuck Theta 15˚ 精细行程，360˚ 快速行程，Chuck Theta 0.001˚ 分辨率；

▲6 .Z方向：总行程不小于10mm，快速移动至少4mm，微调至少6mm，微调分辨率不大于1μm，使用至少100TPI高硬度不锈钢螺杆；

★7. 至少四个探针臂接口，适用于4路射频，探针座精度至少0.7um，使用至少80TPI高硬度不锈钢螺杆， 线性X-Y-Z 12 mm范围全轴无间隙旋转，磁铁开/关底座，磁铁厚12mm,吸力至少5Kg。

★8.射频倾斜至少可达0.01度分辨率，直流探针耐电压1000V，耐电流1A，漏电流不高于10fA。

9.具备抬针针架功能，探针与圆片间快速上下分离/接触，相对针架台板至少支持4个探针臂同时上下移动，分离距离不小于10mm；后续可另行加装探针卡和针卡夹具。

10.作业方式：Wafer真空吸附；手动上片，手动对准、手动测试。

★11.显微镜及摄像系统: 配套高解析度长工作距离显微镜，目镜：20x，变焦0.8X〜5X；显微镜调焦机构：显微镜载物台氣動升降，行程60mm，探测高度可调，同轴旋钮调节，细调精度优于1微米，显微镜X-Y载物台行程至少可达：2” -2”，解析度不大于大于1um；

★12.CCD：5MP摄像机包括Moticam Image Plus软件，USB连接（首选3.0）。

▲13.配置气浮式减震台，气浮胶垫厚不大于0.5mm，垂直方向减震1.3Ｈz、三点自动调平；配套静音空气压缩机，噪音不高于40db。

▲14.配置屏蔽罩，具有Interlock功能，电磁屏蔽≥25dB＠0.5-20G；光屏蔽≤ -170 dBVrms/rtHz。配套转接头及仪表连接线缆和连接器，可与仪表进行无缝互联。

（二）基本配置要求：

1. 探针台主机  1台

2. 显微镜  1台

3. 探针座及配套夹具  4套

4. 真空泵  1台

5. 屏蔽箱及配套转接头、连接器线缆、探针 1套

6. 防震台  1台

7. 空气压缩机  1台

8. CCD数字相机  1台

9、加热卡盘及配套水冷机  1套

注：带★的技数指标为必须满足的技术指标。

必须提供制造商有效的唯一经销授权书及售后服务保证书。

二、对供应商资格要求（供应商资格条件）：

（一） 供应商的资格要求：
　　1. 符合《政府采购法》及其实施条例对投标人资格的要求；
　　2. 具有独立法人资格及相关证照，具有良好信誉及合同履行能力，具有良好资金、财务状况。
　　3. 供应商应为所提供产品的生产企业，或具有所提供生产企业出具的针对本项目的产品授权书。
　　4. 供应商不得被列入失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重违法失信行为名单记录。
　　5. 本项目不接受联合体投标。
　　6. 其他要求：
　　本项目特殊要求在技术规格指标中列明
（二）供应商报名方式：
　　符合本公告要求的供应商，填写附件《供应商报名登记表》并由法定代表人、委托代理人分别签字并加盖单位公章后，彩色扫描成PDF文件后发送给采购单位联系人邮箱。

三、采购文件的发售时间及地点等：

磋商时间：2022年11月18日

获取磋商文件时间: 2022年11月10日-2022年11月16日17点

获取磋商文件方式：报名审核通过的供应商由采购联系人以邮件形式发送标书要求。

响应文件递交时间：2022年11月18日

响应文件递交地址：西安市咸宁西路28号yh86银河国际官方网站仲英楼

响应文件开启时间：2022年11月18日

响应文件开启地点：西安市咸宁西路28号yh86银河国际官方网站仲英楼